В МИЭТ был увеличен прием по данным специальностям и факультет в соответствии с направлениями подготовки был разделен на два:Физико-химический (ФХ) факультет и факультет Электронного машиностроения (ЭМ).К концу 90-х годов ХХ века в связи и изменениями экономической ситуации и приоритетами развития высокотехнологичных отраслей экономики в России потребность в выпускаемых специалистах снизилась и в 2001 году факультеты были объединены в один, который получил название факультет Электронных технологий, материалов и оборудования.